扩散泵排气台 高真空扩散泵排气台 STKS-260扩散泵排气台 扩散泵机组 真空排气台详细介绍

一、概述

STKS系列高真扩散泵空机组以油扩散泵为主泵，旋片真空泵为前级泵串联而成的。STKS系列扩散泵机组的特点是可移动性好，操作简明，集成性能高等优点；并可长时间稳定连续工作。它被广泛地应用在真空镀膜、氙气灯管抽真空、LNG罐体抽真空、物理实验等领域。

二、技术参数

三、结构简介

1、参阅真空系统示意图及外形图，机组主体与旋片真空泵是分别装在可移动柜体上面，扩散泵与旋片真空泵之间连接使用不锈钢金属波纹管，防止旋片真空泵工作时发生机械震动对扩散泵和机架整体的影响

2、扩散泵、挡油器整体掉装在机架上面，在油扩散泵和高真空阀间安装挡油器。扩散泵内返流的油蒸汽分子被挡油器所阻挡，大大的减少了油分子返流到真空容器中去。

3、在油扩散泵的右侧，三通阀的下部装有一个适当容积的储气桶，其功能是***当旋片真空泵对容器进行预抽真空时或旋片真空泵意外停机是扩散泵依然能够正常工作，持续时间约1小时，储气桶保持者扩散泵所需的前级压力。

4、在油扩散泵的冷却水管上安装有温度开关（常闭型），当扩散泵外壁温度低于40℃时，高抽启动正常；当温度高于40℃，温度开关自动断开，高抽启动断开，待温度降到20℃以内，温度开关恢复常闭信号，高抽启动正常。

四、设备连接

    注意：请务必按照使用说明书步骤安装，尤其是供给扩散泵机组冷却水源，不然有可能会烧毁设备及相关部件。

1. 扩散泵机组需放置在环境温度为5℃-40℃相对湿度不大于90%的室内。为了保持机组内部不受污染，机组出厂时候内部已抽成真空，在使用之前不应该随意将空气充入，避免内部表面吸附大量气体和被空气污染，影响以后抽真空工作顺利进行。
2. 将扩散泵机组顶面的抽气口（根据用户接口可另行加工）与被抽容器连接好，要使扩散泵处于垂直状态。连接时调整好调节用的螺钉使各处连接处位置合适，然后拧紧螺栓，防止泵体侧翻。
3. 接通柜体面板左面的220v电源插座。
4. 在高真空阀门的右侧安装上电离真空规管测量真空容器内的真空度。连接电离规时要注意将收极集(鸭嘴型接头)的线连接上。
5. 在连接电离规管和抽气口接头时要特别注意，必须***每个连接处密封可靠，并注意密封圈及密封面清洁无损坏，确保密封可靠性。同时在安装高真空电离规时，可在密封圈上涂抹少量真空硅脂（长城7501）提高密封圈处的密封性能。

• 接通设备总电源（220v）电源必须可靠接地，以免漏电造成操作人员触电危险。同时观察前级旋片真空泵泵油是否足量，通过旋片真空泵视窗可观察到油位在视窗3/4处即可。旋片真空泵具体使用方法，请阅读旋片真空泵使用说明书。
• 连接好机组的冷却水源，请按下列顺序将冷却水管和水嘴连接号，连接要牢靠，开启水源不能有水滴漏现象。冷却水温度参考技术表一中数据。
• 因设备使用工艺不同，可能在扩散泵接口连接处与被抽容器连接方式不同，如连接不合适，需与我公司技术人员及时联系沟通。